各届科技奖甄审作业，由本会董事长遴聘权威之专家组成评审委员会，下设「奈米科技」、「资通讯科技」、「光电科技」、「生技医药」及「绿色科技」等审查小组，各小组召集人另敦聘多位专家学者参予小组审查工作，历经『同侪审查机制(Peer’s ReviewSystem)』过程，推荐入围名单至评审委员会，以评选出最终得奖名单，提交董事会确认后公布。
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